行業(yè)動(dòng)態(tài)
激光與激光器
1.儲(chǔ)備知識(shí)1.光子
光具有能量、動(dòng)量和質(zhì)量、粒子屬性(能量、動(dòng)量、質(zhì)量等)和波動(dòng)屬性(頻率、波矢、偏振等)。
物質(zhì)是由原子組成,而原子又是由原子核及電子構(gòu)成。電子圍繞原子核運(yùn)動(dòng)。原子中電子的能量不是任意的。描述微觀世界的量子力學(xué)告訴我們,這些電子將處于一些固定的能量水平,不同的能量水平對(duì)應(yīng)于不同的電子能量,遠(yuǎn)離原子核的軌道能量越高。此外,不同的軌道最多可以容納不同的電子數(shù)量,如**軌道(也是最近的原子核軌道)最多只能容納2個(gè)電子,更高的軌道可以容納8個(gè)電子等。
通過(guò)吸收或釋放能量,電子可以從一個(gè)能級(jí)轉(zhuǎn)移到另一個(gè)能級(jí)。例如,當(dāng)電子吸收光子時(shí),它可能會(huì)從低能級(jí)轉(zhuǎn)移到高能級(jí)。同樣,高能電子也會(huì)通過(guò)發(fā)射光子跳到較低的能級(jí)。在這些過(guò)程中,電子釋放或吸收的光子能量總是等于這兩個(gè)能級(jí)的能量差。由于光子能決定了光的波長(zhǎng),吸收或釋放的光具有固定的顏色。
使原子產(chǎn)生共振,從而產(chǎn)生跳躍。光子的能量必須等于兩個(gè)能級(jí)之間的能量差。光子的能量大于或小于這個(gè)值,不能使原子產(chǎn)生共振或跳躍。
h為普朗克常量,V光子頻率。
使原子電離,如果原子吸收的能量正好等于電離能,原子正好電離;如果吸收的能量大于電離能,原子電離,電離電子有動(dòng)能,等于吸收的能量與電離能的差異;如果吸收的能量小于電離能,就不會(huì)發(fā)生電離。
實(shí)物粒子碰撞:
當(dāng)兩個(gè)粒子碰撞時(shí),如果只交換粒子平移能量,內(nèi)部能量保持不變,則稱(chēng)為彈性碰撞;原子或分子內(nèi)部能量增減稱(chēng)為非彈性碰撞
非彈性碰撞分為兩種:如果部分能量轉(zhuǎn)化為內(nèi)部能量,刺激原子跳躍,稱(chēng)為**種非彈性碰撞;如果原子內(nèi)部能量減少,釋放的部分能量轉(zhuǎn)化為平移能量,則稱(chēng)為第二種非彈性碰撞
如果原子與原子之間的碰撞發(fā)生跳躍,必須使原子的動(dòng)能比被激發(fā)跳躍的能級(jí)值大得多。
電子通過(guò)非彈性碰撞使原子躍遷,電子具有的動(dòng)能必須大于或等于原子兩個(gè)能級(jí)之差。
(5)跳躍時(shí)釋放的光子數(shù)量和類(lèi)型
4.自發(fā)輻射
它是指高能電子在沒(méi)有外部作用的情況下自發(fā)遷移到低能水平,并產(chǎn)生光(電磁波)輻射,輻射光子能量為hv=E2-E1.即兩個(gè)能級(jí)之間的能量差。這種輻射的特點(diǎn)是每個(gè)電子的跳躍都是自發(fā)獨(dú)立的,其過(guò)程沒(méi)有外部影響,也沒(méi)有關(guān)系。因此,它們的光子狀態(tài)是不同的。光相干性差,方向分散。
受激吸收是指低能原子吸收外部輻射,跳到高能態(tài)。從低能級(jí)到高能級(jí),電子可以吸收光子。普通常見(jiàn)光源的發(fā)光(如電燈、火焰、太陽(yáng)等)是由于原子中的電子在受到外部能量(如光能、電能、熱能等)的影響時(shí)吸收外部能量,從低能級(jí)轉(zhuǎn)移到高能級(jí),即原子受到刺激。激發(fā)過(guò)程是一個(gè)激發(fā)吸收過(guò)程。
受激輻射是指光子中的高能電子 ** 或者在感應(yīng)下,跳到低能級(jí),輻射出與入射光子頻率相同的光子。受激輻射**的特點(diǎn)是受激輻射產(chǎn)生的光子與受激輻射產(chǎn)生的原始光子完全相同。它們的頻率和方向相同,無(wú)法區(qū)分兩者之間的差異。這樣,一個(gè)光子通過(guò)一次受激輻射變成兩個(gè)相同的光子。這意味著光被加強(qiáng),或者光被放大。這是激光產(chǎn)生的基本過(guò)程:光子射入物質(zhì)誘導(dǎo)電子從高能級(jí)轉(zhuǎn)移到低能級(jí),并釋放光子。入射光子與釋放的光子具有相同的波長(zhǎng)和相位,對(duì)應(yīng)于兩個(gè)能級(jí)之間的能量差。一個(gè)光子誘導(dǎo)一個(gè)原子發(fā)射一個(gè)光子,**變成兩個(gè)相同的光子。
在原子系統(tǒng)中,總有一些原子處于高能級(jí),有些處于低能級(jí)。自發(fā)輻射產(chǎn)生的光子可以去 ** 高能原子產(chǎn)生受激輻射,也可能被低能原子吸收。因此,自發(fā)輻射、受激輻射和受激吸收總是同時(shí)存在于光與原子系統(tǒng)的相互作用中。
如果你想獲得越來(lái)越強(qiáng)的光,即產(chǎn)生越來(lái)越多的光子,你必須使受激輻射產(chǎn)生的光子超過(guò)受激吸收的光子。在光子的作用下,高能原子產(chǎn)生受激輻射的機(jī)會(huì)與低能原子相同。這樣,光的放大取決于高低能原子數(shù)量的比例。如果高能原子遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)低能原子,我們就會(huì)得到高度放大的光。然而,在通常的熱平衡原子系統(tǒng)中,原子數(shù)量遵循玻爾茲曼的分布規(guī)律。因此,高能級(jí)原子數(shù)總是低于低能級(jí)原子數(shù)。在這種情況下,為了放大光線(xiàn),必須在非熱平衡系統(tǒng)中找到。
誘發(fā)光子不僅會(huì)引起受激輻射,還會(huì)引起受激吸收。因此,只有當(dāng)高能原子數(shù)量超過(guò)低能原子數(shù)量時(shí),受激輻射才能超過(guò)受激吸收,并具有優(yōu)勢(shì)。可以看出,為了使光源發(fā)射激光,而不是發(fā)射普通光的關(guān)鍵是發(fā)光原子在高能級(jí)上的數(shù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)低能級(jí),稱(chēng)為粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。但在熱平衡條件下,原子幾乎都處于**能級(jí)(基態(tài))。因此,如何在技術(shù)上實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)是激光產(chǎn)生的必要條件。那怎樣才能達(dá)到粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)呢?這需要激活媒體。所謂激活媒體(也稱(chēng)為放大媒體或放大媒體),是一種能在兩個(gè)能級(jí)之間反轉(zhuǎn)粒子數(shù)的物質(zhì)。它可以是氣體、固體或液體。不可能用二能系統(tǒng)激活媒體,實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。要獲得粒子數(shù)反轉(zhuǎn),必須使用多能系統(tǒng)。
在通常的熱平衡條件下,處于高能級(jí)E2上原子數(shù)密度N2.遠(yuǎn)低于低能級(jí)原子數(shù)密度,因?yàn)楫?dāng)能級(jí)E的原子數(shù)密度N隨能級(jí)E的增加而降低,即N∝exp(-E/kT),這就是著名的波耳茲曼分布規(guī)律。
因此,兩個(gè)能級(jí)上的原子數(shù)密度比為:N2/N1∝exp{-(E2-E1)/kT} 中k是波耳茲曼常量,T絕對(duì)溫度。因?yàn)镋2>E1,所以N2《N1。例如,已知?dú)湓踊鶓B(tài)能量為E1=-13.6eV,**個(gè)激發(fā)態(tài)能量是E2=-3.4eV,在20℃時(shí),kT≈0.025eV,則N2/N1∝exp(-400)≈0 可見(jiàn),在20℃幾乎所有的氫原子都處于基態(tài),要使原子發(fā)光,必須提供能量使原子達(dá)到激發(fā)態(tài),因此,廣義上的發(fā)光包括受激吸收和自發(fā)輻射。一般來(lái)說(shuō),這種光源輻射光的能量不強(qiáng),向四面八方發(fā)射會(huì)分散能量。
1917年,愛(ài)因斯坦在量子理論基礎(chǔ)上提出:物質(zhì)與輻射場(chǎng)相互作用中,構(gòu)成物質(zhì)的原子和分子可以在光子的激勵(lì)下產(chǎn)生光子的受激發(fā)射或吸收。即激光的英文名來(lái)源——Light amplification by stimulated emission of radiation,LASER;中文名稱(chēng)是19 ** 根據(jù)中國(guó)著名科學(xué)家錢(qián)學(xué)森的建議,將光受激發(fā)射改為激光。
1960年,梅曼(Theodore H. Mai ** n)世界上**個(gè)紅寶石固態(tài)激光器(rugby laser)
1961年,氣體激光器——氦氖激光器;我國(guó)**臺(tái)紅寶石激光器誕生
1962年,半導(dǎo)體激光器
1963年 ,二氧化碳激光器
1965年,YAG激光器
1980年,準(zhǔn)分子Kr激光器
1988年,倍頻泵浦YAG激光器
主要的分類(lèi)方法是根據(jù)激光分類(lèi):
(1)固體激光(Solid state laser)
該激光介質(zhì)是一種與雜質(zhì)混合的絕緣固體,包括晶體激光、玻璃激光和光纖激光。晶體、玻璃和光纖是寄主材料(host ** terial),取代一些寄主離子的寄主離子「雜質(zhì)(Impurity)」離子是激光的主動(dòng)介質(zhì)。
例如,紅寶石的寄主是三氧化二鋁晶體(Sapphire;常譯為「藍(lán)寶石」) ,主動(dòng)介質(zhì)是鉻鉻閱讀「各」】離子(Cr3 )。將在下文中使用「Cr3 :Al2O3」這樣的標(biāo)志表示主動(dòng)介質(zhì)和寄主,以及「鉻―氧化鋁激光」激光名稱(chēng)表示形式標(biāo)記。在幾種晶體、玻璃和光纖中、玻璃和光纖混合。由于各寄主的電子分布和對(duì)稱(chēng)性不同,同一離子的能階結(jié)構(gòu)和能階差不同,激光波長(zhǎng)可能相似,但不完全相同。
比如釹釹讀作「女」】離子(Nd3 )激光接近1μm但波長(zhǎng)不相等。以不同材料為寄主的其他區(qū)別在于增益、散熱、可用晶體長(zhǎng)度等。這些因素會(huì)影響激光的功率,從而影響商品的規(guī)格和價(jià)格。
a、紅寶石(Ruby laser)激光 紅寶石激光可產(chǎn)生694.3 nm及692.8 nm激光,但后者增益較低,一般取其694.3 nm的輸出。
b、釹離子(Nd3 )的激光 釹-雅克(Nd-YAG)激光是最著名的。YAG它代表了一種代表性的石榴石(Yttrium aluminum garnet;Y3Al5O12)。主動(dòng)介質(zhì)是YAG晶體中,取代約1%釔離子(Y3 )釹離子。
c、鈦-藍(lán)寶石(Titanium-sapphire)激光等可變頻固體激光 鈦-藍(lán)寶石激光的主動(dòng)介質(zhì)是摻入的Al2O3晶體中的Ti3 用鋁離子代替離子。它有兩個(gè)特點(diǎn):(1)輸出激光的頻率可以是660到180 nm兩者之間的調(diào)變;(2)它能產(chǎn)生不到100 fs超短脈波。(固體激光可調(diào)波長(zhǎng))
d、其它固體激光 其它固體激光
(2)液體激光
液體激光以溶劑染料為主動(dòng)介質(zhì),通常稱(chēng)為染料激光(Dye laser)。染料分子結(jié)構(gòu)復(fù)雜,含有多個(gè)苯環(huán)。在它們的能階中,與每個(gè)電子能階相對(duì)應(yīng),有許多間隔精細(xì)的振動(dòng)能階,分布成帶狀,因此一個(gè)范圍內(nèi)的頻率可以跳躍并產(chǎn)生激光。另一方面,染料的能階結(jié)構(gòu)也使其能夠吸收相當(dāng)廣泛的激發(fā)光,主要在紫外線(xiàn)和可見(jiàn)光波段。用不同的激發(fā)波長(zhǎng)照射染料會(huì)產(chǎn)生不同的激光波長(zhǎng)。(薔薇紅6G激光波長(zhǎng)數(shù)據(jù))一種可調(diào)激光波長(zhǎng)的裝置,能產(chǎn)生多種激光,因此應(yīng)用廣泛。但固體激光在體積、積、功耗、電壓需求、冷卻需求、安全性和穩(wěn)定性方面的優(yōu)勢(shì)遠(yuǎn)高于染料激光。這些優(yōu)點(diǎn)使固體激光小型化和可移植(Portability)占優(yōu)勢(shì)。由于固體可變頻激光的應(yīng)用波長(zhǎng)范圍仍然是紅外區(qū)域,雖然放大器和非線(xiàn)性變頻裝置可以產(chǎn)生短波長(zhǎng)的高質(zhì)量光束,但仍有許多波長(zhǎng)范圍,因此染料激光仍有存在和利用的空間。
(3)氣體激光(Gaseous laser)
以氣體為主動(dòng)介質(zhì)的激光中,包括中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準(zhǔn)分子激光。分別介紹如下:
1)稀有氣體元素的中性原子激光和離子氣體激光
a、中性原子激光
中性原子激光和離子氣體激光的區(qū)別在于前者激光來(lái)自中性原子能階( 如圖2所示,氦原子和霓原子能階 )后者是離子的能階( 如Ar ,Kr )間之躍遷。因此,氬激光(Argon laser)氬離子激光(Argon ion laser)前者的激光波長(zhǎng)屬于紅外波段,后者在可見(jiàn)光和紫外線(xiàn)區(qū)。但氬離子激光一方面很少見(jiàn),另一方面為了方便稱(chēng)呼,人們常稱(chēng)氬離子激光為氬激光。不僅是中文敘述,英文文獻(xiàn)也是如此,氬激光在不混淆的情況下仍然可以稱(chēng)為氬離子激光。氦霓虹激光是中性原子激光中最常見(jiàn)的激光。它的紅光尤其為大家所熟悉。其光色明顯,常用作非可見(jiàn)光激光中的指引光束(Guiding beam)。同調(diào)性?xún)?yōu)越,操作條件方便(只需氣冷,110V電壓和價(jià)格相對(duì)較低),廣泛用于掃描讀碼裝置和全像。
b、離子激光
氬離子激光和氪離子激光是稀有氣體離子激光中最常見(jiàn)的。氬離子激光除直接使用外,還常用紫外線(xiàn)和藍(lán)綠光激發(fā)染料激光。20W機(jī)型可產(chǎn)生275.4至1090.0 nm一些激光。主要可見(jiàn)光波長(zhǎng)為514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。在藍(lán)綠常用的藍(lán)綠光波段是514.5及488 nm。氪離子激光產(chǎn)生337.4至799.3 nm,最強(qiáng)的是 ** 7.1 nm,其次為413.1及530.9 nm。商品中,有將氬氣與氪氣混合的機(jī)型。
2)金屬蒸汽的中性原子激光與離子激光
a、中性原子激光
Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽,都是中性原子激光的主動(dòng)介質(zhì)。它們的蒸汽中,常混入低壓力的惰性氣體,以提高放電效率。銅蒸汽激光商品可產(chǎn)生100W以上的綠光(511 nm)及黃光(578 nm),金蒸汽激光則可得數(shù)十瓦的紅光 (628 nm)。這兩種激光有很多用途,例如血紫質(zhì)衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光譜的峰值約為628 nm,而癌細(xì)胞能吸收此物質(zhì)。此物質(zhì)受到628 nm的激光光照射后會(huì)分解,產(chǎn)生可殺死癌細(xì)胞的物質(zhì)。不過(guò),銅蒸汽激光激發(fā)染料激光,也可得到這種光,而不必依靠金蒸汽激光。此外,578 nm的激光可以除去某些胎記,效果優(yōu)于用氬離子激光。
b、離子激光
金屬蒸汽離子激光中,氦鎘(He-Cd)激光是最主要的,氦硒(He-Se)、氦鋅(He-Zn)等激光為此家族中之成員。氦鎘激光的325 nm紫外線(xiàn),和441.6 nm藍(lán)光,是最常見(jiàn)的輸出。加上特殊設(shè)計(jì)時(shí),它可同時(shí)產(chǎn)生紅光(635.6及636.0 nm)和綠光(533.7及537.8 nm)。它的短波長(zhǎng)成分,在信息處理方面很有用。適當(dāng)調(diào)配各波長(zhǎng)的輸出,幾乎可以產(chǎn)生所有可見(jiàn)光的顏色,因而它的白光激光產(chǎn)品也是有名的。儲(chǔ)存密度及鑒別能力的提高,使它在量度、檢驗(yàn)、記錄、印刷等方面有許多應(yīng)用。
3)分子氣體
二氧化碳激光和氮?dú)饧す馐亲畛R?jiàn)的分子氣體激光,其主要激光光分屬紅外線(xiàn)(10, ** 0 nm)及紫外線(xiàn)(337 nm)。生物組織中的水分會(huì)吸收它的10, ** 0 nm激光光,所以能用于手術(shù),所需激光光功率約為50W。此外,非金屬材料的加工、金屬表面的熱處理、光譜學(xué)及光化學(xué)研究、環(huán)境遙測(cè)、測(cè)距、激發(fā)其他激光、產(chǎn)生離子體(俗稱(chēng)電漿;Plas ** )等,也都可用二氧化碳激光來(lái)進(jìn)行。氮?dú)饧す獾淖贤饩€(xiàn)激光光,適合激發(fā)染料激光,及使多種物質(zhì)產(chǎn)生熒光,而可用于檢驗(yàn)及研究工作。其缺點(diǎn)在于效率及功率均低,每個(gè)脈波的能量大約只有10mJ,平均功率約為數(shù)百mW。
4)準(zhǔn)分子(Excimer)激光
準(zhǔn)分子一詞的原意,是「兩個(gè)同種原子組成,而只存在于受激態(tài)的分子」,如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等;其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術(shù)語(yǔ)。現(xiàn)在已經(jīng)將它的適用范圍放寬,以包括「不存在于基態(tài),只以受激態(tài)呈現(xiàn)的任何雙原子分子(有時(shí)還包括三原子分子)」。重要的準(zhǔn)分子激光,以稀有氣體的鹵化物為主動(dòng)介質(zhì),如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因?yàn)槭芗B(tài)常以星號(hào)(*)上標(biāo)表示,所以有些數(shù)據(jù)上寫(xiě)成ArF*等。準(zhǔn)分子不會(huì)自然出現(xiàn),而是在氣體混合物中放電時(shí)形成的。此外,用電子束撞擊,或在導(dǎo)波管型裝置中以微波激發(fā),也都可以造成準(zhǔn)分子。它的激光光來(lái)自準(zhǔn)分子解離成原子的電子躍遷,所以其激光光屬紫外線(xiàn),應(yīng)用于精細(xì)蝕刻(如電路制程)、化學(xué)蒸著(Chemical vapor deposition)、化學(xué)反應(yīng)研究及醫(yī)療上的用途較多。這些應(yīng)用中,有的是以準(zhǔn)分子激光激發(fā)可變頻激光之后進(jìn)行的。商品以ArF, KrF, XeCl, XeF等準(zhǔn)分子居多,激光光頻率分別是193、249、308、350 nm。
(4)化學(xué)激光(Chemical laser)
由化學(xué)反應(yīng)造成居量反轉(zhuǎn)的激光,稱(chēng)為化學(xué)激光。在化學(xué)、軍事、材料研究與生物醫(yī)學(xué)方面,都有化學(xué)激光發(fā)揮所長(zhǎng)之處。例如氟化氫激光的光束可能是骨科手術(shù)所需要的。氟化氫激光中的反應(yīng)可表示為2F2 + H2 →2HF* + F2,其實(shí)它的細(xì)部反應(yīng)是鏈?zhǔn)椒磻?yīng):F + H2 →HF* + H ,F(xiàn)2 + H → HF* + F,而且可用放電使反應(yīng)啟動(dòng)。另外的例子是C2N2 + O2 →2CO + N2 +127 kcal。DF, HCl, HBr 等亦有類(lèi)似作用。化學(xué)激光的波長(zhǎng)
(5)半導(dǎo)體激光(Semiconductor laser)
半導(dǎo)體激光是用半導(dǎo)體制成的,其構(gòu)造及電性質(zhì)為二極管(Diode),也就是具有兩個(gè)外接電路端點(diǎn),分別位于其中的p型與n型部分,其間有個(gè)接面(Junction)。因此,半導(dǎo)體激光又名半導(dǎo)體二極管激光(Semiconductor diode laser)或二極管激光(Diode laser)。電流較低時(shí),它成為發(fā)光二極管(Light emitting diode;LED),發(fā)出自發(fā)射的光;電流夠大的時(shí)候,才能造成自由電子的居量反轉(zhuǎn)。另一方面,制程中適當(dāng)?shù)牟襟E使二極管兩端具有相當(dāng)高的反射率,就具備激光所需要的條件。半導(dǎo)體激光技術(shù)的研發(fā),使半導(dǎo)體激光成為效率很高的激光,但散熱仍是重要問(wèn)題。此外,端射型及面射型激光數(shù)組的研發(fā),使系統(tǒng)產(chǎn)生的光束在能量及控制方面提升許多。隨著半導(dǎo)體種類(lèi)的擴(kuò)增,半導(dǎo)體激光能產(chǎn)生的波長(zhǎng),也不斷增加。下表列出幾種室溫下操作的半導(dǎo)體激光的波長(zhǎng)數(shù)據(jù)。
半導(dǎo)體激光的例子:半導(dǎo)體激光的介質(zhì)體積小(典型尺寸約為10μm ×300μm ×500μm)、效率高、功率高、操作電流及電壓低,消耗能量少,所以為人們所樂(lè)于使用。用許多個(gè)半導(dǎo)體激光激發(fā)其他的固體激光,是一種很有價(jià)值的應(yīng)用。
(6)色中心(Color-center)激光
堿金屬的鹵化物晶體中有某些雜質(zhì)時(shí),受到適當(dāng)輻射照射后會(huì)顯現(xiàn)顏色。鹵化物的例子有KCl、 RbCl 、LiF、KF等,雜質(zhì)則有Li、Na等。這些雜質(zhì)稱(chēng)為「色中心」。
(7)自由電子 (Free electron) 激光
自由電子激光(FEL)以極高真空中的高速自由電子為主動(dòng)介質(zhì)。其波長(zhǎng)可以調(diào)變,由微波到軟X射線(xiàn)都可能。因此是一部裝置可執(zhí)行多種功能。現(xiàn)在的研究方向之一,是開(kāi)發(fā)桌上型的機(jī)種,以便擴(kuò)大應(yīng)用場(chǎng)合,并降低價(jià)格。
(8)倍頻(Frequency double)激光
倍頻激光實(shí)際上是加上倍頻晶體的激光,但是有些數(shù)據(jù)上用造成倍頻效應(yīng)的晶體稱(chēng)呼它們,例如KDP(Potassium dihydrogen phosphate)激光及KTP(Potassium titanyl phosphate)激光。因此,本文列出這一項(xiàng),以引起讀者注意KDP及KTP并非激光的主動(dòng)介質(zhì),并略為介紹此類(lèi)晶體。
倍頻是非線(xiàn)性光學(xué)晶體(Nonlinear optical crystal)的功能之一。選用晶體時(shí),產(chǎn)生倍頻波的適用波段及轉(zhuǎn)換效率(Conversion efficiency)是重要指標(biāo)。其他要注意的項(xiàng)目包括是否會(huì)潮解、會(huì)造成損壞的光強(qiáng)度、晶體切割方向及鍍膜狀況等。KDP是磷酸二氫鉀(KH2PO4),為最早使用的倍頻晶體,某些條件下的轉(zhuǎn)換效率很高,但是會(huì)潮解,須注意防范。KTP是磷酸鉀鈦氧(KTiOPO4),性能與KDP相似,但是不會(huì)潮解。偏硼酸鋇(Beta barium borate,β-BaB2O4;BBO)是較受重視的一種非線(xiàn)性光學(xué)晶體,它具有一些優(yōu)良性質(zhì),但與其他晶體相同,并非適用于一切場(chǎng)合。舉例來(lái)說(shuō),有些晶體適合產(chǎn)生二倍頻,但不適用于三倍頻 。
非接觸加工
熱影響區(qū)小
加工靈活(激光易于聚焦、發(fā)散和導(dǎo)向,不受電磁干擾可在大氣環(huán)境中加工)
微區(qū)加工(光斑可以聚焦到波長(zhǎng)級(jí)別)
可透過(guò)透明介質(zhì)對(duì)內(nèi)部工件加工
可加工高硬度高脆性和高熔點(diǎn)的金屬非金屬材料
激光技術(shù)應(yīng)用最重要的三個(gè)方面:激光加工、激光通訊、激光醫(yī)療
激光材料去除加工:激光打孔、切割、雕刻和刻蝕
激光材料增長(zhǎng)加工:激光焊接、激光燒結(jié)、激光快速成型
激光材料改性:激光熱處理、強(qiáng)化、涂覆、合金化、非晶化、微晶化等
激光微細(xì)加工
其他加工:激光清洗、激光復(fù)合加工、激光拋光
激光通信分為有線(xiàn)和無(wú)線(xiàn)激光通信兩種,無(wú)線(xiàn)通信可分為點(diǎn)對(duì)點(diǎn)、點(diǎn)對(duì)多點(diǎn)、環(huán)形或網(wǎng)狀通信
點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的激光通信原理及國(guó)內(nèi)外發(fā)展概況:激光大氣通信的發(fā)送設(shè)備主要由:激光器、光調(diào)制器、光學(xué)發(fā)射天線(xiàn)、接收設(shè)備主要由光學(xué)接收天線(xiàn)、光檢測(cè)器等組成信息發(fā)送時(shí),先轉(zhuǎn)換成電信號(hào),再由光調(diào)制器將其調(diào)制在激光器產(chǎn)生的激光束上,經(jīng)光學(xué)天線(xiàn)發(fā)送出去,信息接收時(shí),光學(xué)接收天線(xiàn)將接收到的光信號(hào)聚焦后,送至光檢測(cè)器恢復(fù)至電信號(hào),還原為信息。
當(dāng)輻射場(chǎng)作用于物質(zhì)時(shí),受激輻射、受激吸收、自發(fā)輻射并存;在熱平衡狀態(tài)下,物質(zhì)位于基態(tài)粒子束大于處在激發(fā)態(tài)粒子數(shù),故而吸收入射光多于放大入射光;此時(shí)需施加泵浦源反轉(zhuǎn)粒子數(shù),使受激輻射占主導(dǎo)作用;當(dāng)光強(qiáng)I(z)沿方向Z入射時(shí),在介質(zhì)作用下以放大系數(shù)放大,而光強(qiáng)放大是以犧牲反轉(zhuǎn)粒子數(shù)為代價(jià),故增益系數(shù)由于粒子數(shù)減少而趨于增益飽和,最多達(dá)到平衡的光強(qiáng)。
以紅寶石激光器為例,原子首先吸收外部注入的能量,躍遷至受激態(tài)(E3)。原子處于受激態(tài)的時(shí)間非常短,大約為10-7秒后,它便會(huì)落到一個(gè)稱(chēng)為亞穩(wěn)態(tài)(E2)的中間狀態(tài)。原子在亞穩(wěn)態(tài)的時(shí)間很長(zhǎng),大約是10-3秒或更長(zhǎng)的時(shí)間。原子長(zhǎng)時(shí)間停留在亞穩(wěn)態(tài),導(dǎo)致在亞穩(wěn)態(tài)的原子數(shù)目多于在基態(tài)的原子數(shù)目,此時(shí)的狀態(tài)稱(chēng)就是粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。其產(chǎn)生的結(jié)果就導(dǎo)致使通過(guò)受激輻射由亞穩(wěn)回到基態(tài)(E1)的原子,比通過(guò)受激吸收由基態(tài)躍遷至亞穩(wěn)態(tài)的原子為多,從而保證介質(zhì)內(nèi)的光子可以增多,從而形成激光。這就是典型的激光三能級(jí)系統(tǒng)。
當(dāng)粒子受外界能量激勵(lì)從E1到E3,由于E3能級(jí)壽命短,很快轉(zhuǎn)移到E2上,因能級(jí)E2為亞穩(wěn)態(tài),在E2、E1間實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布。由于下能級(jí)E1為基態(tài),通常總是積聚著大量的粒子,因此要實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),必須將半數(shù)以上的基態(tài)粒子激發(fā)到E2上,所以,外界激勵(lì)就需要有相當(dāng)強(qiáng)的能力。而我們所用的YAG激光系統(tǒng)屬于四能級(jí)系統(tǒng)。如所示,能級(jí)E1為基態(tài),E2、E3、E4為激發(fā)態(tài)。在外界激勵(lì)的條件下,基態(tài)E1上的粒子大量被激發(fā)到E4上,又迅速轉(zhuǎn)移到E3上,E3能級(jí)為亞穩(wěn)態(tài),壽命較長(zhǎng)。而E2能級(jí)壽命很短,E2上的粒子又很快躍遷到基態(tài)E1,所以,四能級(jí)系統(tǒng)中,粒子數(shù)反轉(zhuǎn)是在E3與E2間實(shí)現(xiàn)。 也就是說(shuō),能實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)的激光下能級(jí)是E2,不像三能級(jí)系統(tǒng)那樣,為基態(tài)E1。因?yàn)镋2不是基態(tài),所以在室溫下,E2能級(jí)上的粒子數(shù)非常少。因而粒子數(shù)反轉(zhuǎn)在四能級(jí)系統(tǒng)比三能級(jí)系統(tǒng)容易實(shí)現(xiàn)。常見(jiàn)激光器中,除摻釹釔鋁石榴石(簡(jiǎn)Nd3+:YAG)激光器外,氦氖激光器和二氧化碳激光器也都屬四能級(jí)系統(tǒng)激光器。需要指明,以上討論的三能級(jí)系統(tǒng)和四能級(jí)系統(tǒng)都是對(duì)激光器運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中直接有關(guān)的能級(jí)而言,不是說(shuō)某種物質(zhì)只具有三個(gè)能級(jí)或四個(gè)能級(jí)。
增益系數(shù):光放大作用的大小通常用增益系數(shù)G描述,即光通過(guò)單位長(zhǎng)度激活物質(zhì)后光強(qiáng)增長(zhǎng)的百分?jǐn)?shù)
損耗系數(shù):光通過(guò)單位長(zhǎng)度激活物質(zhì)后光強(qiáng)衰減的百分?jǐn)?shù)
增益飽和效應(yīng),光強(qiáng)要增加,則反轉(zhuǎn)粒子數(shù)會(huì)下降,而增益系數(shù)也會(huì)下降,進(jìn)而光強(qiáng)增長(zhǎng)變緩。
常規(guī)激光器包括三部分:工作物質(zhì)、泵浦源和光學(xué)諧振腔。
激光的產(chǎn)生必須選擇合適的工作介質(zhì),可以是氣體、液體、固體或半導(dǎo)體。關(guān)鍵是能在這種介質(zhì)中實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),以獲得產(chǎn)生激光的必要條件。顯然,亞穩(wěn)態(tài)能級(jí)的存在,對(duì)實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)是非常有利的。
為了使工作介質(zhì)中出現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),必須用一定的方法去激勵(lì)原子體系,使處于上能級(jí)的粒子數(shù)增加。一般可以用氣體放電的辦法來(lái)利用具有動(dòng)能的電子去激發(fā)介質(zhì)原子,稱(chēng)為電激勵(lì);也可用脈沖光源來(lái)照射工作介質(zhì),稱(chēng)為光激勵(lì);還有熱激勵(lì)、化學(xué)激勵(lì)等。各種激勵(lì)方式被形象化地稱(chēng)為泵浦或抽運(yùn)。為了不斷得到激光輸出,必須不斷地“泵浦”以維持處于上能級(jí)的粒子數(shù)比下能級(jí)多。
氣體放電:高電壓下,氣體分子電離放電,與被電場(chǎng)加速電子碰撞,吸收能量后躍遷;
光激勵(lì):光照射工作物質(zhì),其吸收光能后產(chǎn)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn);
熱能激勵(lì):高溫加熱使高能級(jí)粒子數(shù)增多,后突然降低溫度,由于高、低能級(jí)弛豫時(shí)間不同而使粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。
有了合適的工作物質(zhì)和激勵(lì)源后,可實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),但這樣產(chǎn)生的受激輻射強(qiáng)度很弱,無(wú)法實(shí)際應(yīng)用。還需要將輻射的光進(jìn)行放大,于是人們就想到了用光學(xué)諧振腔進(jìn)行放大。
所謂光學(xué)諧振腔,實(shí)際是在激光器兩端,平行裝上兩塊反射率很高的鏡片,一塊為全反射鏡片,一塊為部分反射、少量透射鏡片。全反射鏡片的作用是將入射的光全部按原路徑反射回去,部分反射鏡片的作用是將能量未達(dá)到一定限度的部分光子按原路徑反射回去,而達(dá)到一定能量限度的光子則透射而出。這樣,透射而出的這部分光子就成為我們需要的,經(jīng)過(guò)放大了的激光;而被反射回工作介質(zhì)的光,則繼續(xù)誘發(fā)新一輪的受激輻射,光將逐漸被放大。因此,光在諧振腔中來(lái)回振蕩,造成連鎖反應(yīng),雪崩似的獲得放大,產(chǎn)生強(qiáng)烈的激光,直到能量達(dá)到一定的限度,從部分反射鏡片中輸出。作用:正反饋,即初始光強(qiáng)往返傳播增加長(zhǎng)度選模:即控制腔內(nèi)振蕩光束特征,限制在所決定的少數(shù)本征模式中。分類(lèi):穩(wěn)定腔(近軸光束不橫向逸出)、非穩(wěn)定腔(腔的幾何偏折損耗高)、臨界腔
對(duì)激光器有不同的分類(lèi)方法,
一般按工作介質(zhì)的不同來(lái)分類(lèi),在可以分為固體激光器、氣體激光器、液體激光器和半導(dǎo)體激光器。
另外,根據(jù)激光輸出方式的不同又可分為連續(xù)激光器和脈沖激光器,其中脈沖激光的峰值功率可以非常大,
還可以按發(fā)光功率大小分為:超大功率、大功率、中功率、小功率
在一個(gè)截面為橢圓形的腔體內(nèi),兩個(gè)焦點(diǎn)上分別放置激光棒和氪燈,在一個(gè)焦點(diǎn)上(氪燈)發(fā)出一定波長(zhǎng)的光,經(jīng)過(guò)反射腔體內(nèi)壁的反射,會(huì)聚在腔體的另一個(gè)焦點(diǎn)上(激光棒),使工作物質(zhì)里的粒子受到激發(fā),粒子受激吸收后,處于低能態(tài)的原子由于吸收了外界輻射而發(fā)生能級(jí)躍遷,繼而釋放出激光,產(chǎn)生的激光在全反射鏡片和部分反射鏡片之間進(jìn)行來(lái)回振蕩,當(dāng)能量達(dá)到一定值時(shí),就可以從部分反射鏡片透過(guò),這就實(shí)現(xiàn)了激光的輸出。
(1)平均衰減系數(shù)α
表示諧振腔內(nèi)損耗的大小
αr——諧振腔反射鏡的透射損耗引起的衰減系數(shù)
αi——是除諧振腔反射鏡損耗以外的其他所有損耗所引起的衰減系數(shù)
l——光學(xué)諧振腔的兩個(gè)反射鏡之間的距離,腔長(zhǎng)
r1、r2——腔的兩個(gè)反射鏡的功率反射系數(shù)
(2)增益系數(shù)G
表示激活物質(zhì)的放大作用
G表示光通過(guò)單位長(zhǎng)度的激活物質(zhì)后,光強(qiáng)所增長(zhǎng)的百分比。
(3)閾值條件
其中Gt為閾值增益系數(shù)
增益等于損耗為閾值條件,光的強(qiáng)度一定要抵消損耗,才會(huì)有多余的光輸出來(lái)。
激光器能產(chǎn)生激光振蕩的**限度稱(chēng)為激光器的閾值條件。
激光器的閾值條件只決定于光學(xué)諧振腔的固有損耗,損耗越小,閾值條件越低,激光器就越容易起振。
(4) 諧振頻率
原來(lái)有一個(gè)波,走一圈回到原來(lái)的地方,相位差是2π的整數(shù)倍,那么這個(gè)波肯定會(huì)被加強(qiáng)。
只有滿(mǎn)足公式的波長(zhǎng)才能在激光器中不斷被放大,**達(dá)到諧振狀態(tài),抵消損耗了,才會(huì)有多余的光輸出來(lái),形成激光。
也就是說(shuō)要想發(fā)出激光,必須要達(dá)到諧振。
而諧振是光學(xué)諧振腔所給定的,給定的光學(xué)諧振腔在兩個(gè)反射鏡之間來(lái)回反射,**回到原點(diǎn),相位是2π的整數(shù)倍的時(shí)候,這個(gè)波就被加強(qiáng),達(dá)到諧振了。
光波如果折射到真空中的話(huà),對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)我們假設(shè)用 來(lái)表示, 表示在激活物質(zhì)內(nèi)部達(dá)到諧振狀態(tài)的波長(zhǎng)。
那么
諧振波長(zhǎng):
諧振頻率:
其中,
與光學(xué)諧振腔內(nèi)材料的折射率n有關(guān)
q取值不同時(shí)(q=1,2,...為整數(shù)),對(duì)應(yīng)不同的 值,即有無(wú)窮多個(gè)諧振頻率。
不同的q對(duì)應(yīng)特定的波長(zhǎng)/頻率,不是連續(xù)也不是任意的,必須要滿(mǎn)足諧振公式的波才能從諧振腔中發(fā)射出來(lái)。
(5)能量轉(zhuǎn)換效率:
輸出的激光功率與輸入的電功率的比值
1、固體激光器
特點(diǎn):一般講,固體激光器具有器件小、堅(jiān)固、使用方便、輸出功率大的特點(diǎn)。工作介質(zhì):在作為基質(zhì)材料的晶體或玻璃中均勻摻入少量激活離子,如晶體或玻璃中摻入少量的金屬離子,激光躍遷發(fā)生在激活離子的不同工作能級(jí)之間,常用的還有釔鋁石榴石(YAG)晶體中摻入三價(jià)釹離子的激光器,它發(fā)射1060nm的近紅外激光。固體激光器一般連續(xù)功率可達(dá)100W以上,脈沖峰值功率可達(dá)109W。泵浦:直接倍頻LD輸出獲得紫外激光。通過(guò)二次倍頻紅外得到紫外,具有較高的光光轉(zhuǎn)換效率,但要求LD不僅能夠輸出較高,而且還必須實(shí)現(xiàn)單頻運(yùn);LD泵浦,非線(xiàn)性光學(xué)頻率轉(zhuǎn)換的紫外激光器。該方法主要是利用激光二極管的發(fā)射帶與銣離子的吸收帶符合的很好,減少能量的內(nèi)積,從而降低熱透鏡效應(yīng),改善光束質(zhì)量,獲得很高的泵浦效率波長(zhǎng)范圍:可見(jiàn)光——近紅外波段代表:(1)YAG激光器可分為:Nd-YAG晶體、Ce-Nd-YAG晶體、Yb-YAG晶體、Ho-YAG晶體、Er-YAG晶體。Nd-YAG激光器:固體激光器,10 ** nm,Nd-YAG是目前綜合性能最為優(yōu)異的激光晶體,連續(xù)激光器的**輸出功率1000W,廣泛用于軍事、工業(yè)和醫(yī)療等行業(yè)。若采用連續(xù)的方式運(yùn)轉(zhuǎn),采用一級(jí)振蕩可以獲得400W的多模輸出,若要輸出在百瓦級(jí)的激光器,采用單燈單棒,200W以上的采用雙燈單棒結(jié)構(gòu)。Nd-YAG激光器不僅適合連續(xù),而且在高重頻下運(yùn)轉(zhuǎn)性能也很優(yōu)越。重頻可達(dá)100~200次/s,**平均功率可400w。采用多級(jí)串聯(lián)來(lái)實(shí)現(xiàn)高功率輸出,目前平均功率**可達(dá)到上600~800瓦,重頻可達(dá)80~200次/s,單脈沖能量可達(dá)80J。Ce-Nd-YAG激光器:在Nd-AG晶體的基礎(chǔ)上添加Ce離子形成Ce-Nd-YAG。利用Ce離子能對(duì)紫外光譜區(qū)光子能量產(chǎn)生很好的吸收,并且將能量以無(wú)輻射躍遷的方式傳遞給Nd離子,從而增加了光譜的利用率,因此效率高、閾值低、重復(fù)頻率特性好。Yb-YAG激光器:Yb3+摻入YAG基質(zhì)中形成的一種產(chǎn)生1.03um近紅外激光的激光晶體,其與Nd-YAG屬于同一種基質(zhì),但由于摻雜不同而導(dǎo)致生長(zhǎng)工藝有所不同。摻Y(jié)b-YAG由于量子效率高,晶體光譜簡(jiǎn)單,無(wú)激發(fā)態(tài)吸收和上轉(zhuǎn)換,且無(wú)熒光濃度猝滅,摻雜濃度高,有較長(zhǎng)的熒光壽命,吸收帶帶寬比Nd-YAG寬得多,能與二極管的泵浦波長(zhǎng)有效耦合。在相同的輸入功率下,Yb-YAG泵浦生熱僅為Nd-YAG的1/4。而且YAG基質(zhì)的物化特性綜合性能最為優(yōu)良,所以Yb-YAG已成為最引人注目的固體激光介質(zhì)之一,LD泵浦的高功率Yb-YAG固體激光器成為新的研究熱點(diǎn),并將其視為發(fā)展高效、高功率固體激光器的一個(gè)主要方向。Ho-YAG激光器:可產(chǎn)生對(duì)人眼安全的2097nm和2091nm激光,主要適用于光通信,雷達(dá)和醫(yī)學(xué)應(yīng)用。Ho-YAG激光器對(duì)冷卻和干燥度有嚴(yán)格的要求,水冷控制在10攝氏度以下。干燥裝置要確保沒(méi)有水蒸氣的影響。處于對(duì)人眼安全波段的范圍內(nèi),由于水吸收大,穿透深度非常淺,大大降低了對(duì)人體特別是對(duì)眼睛的意外傷害的可能性。Er-YAG激光器:輸出2.9um的波長(zhǎng),能被水吸收,主要應(yīng)用在醫(yī)學(xué)中。該晶體主要吸收可見(jiàn)光和紫外光,所以光腔反射鏡的材料多使用又高反射的鋁和銀。目前Er-YAG激光器的**輸出功率可達(dá)3瓦,**脈沖輸出可達(dá)到5J。是迄今輸出功率**的效率**的長(zhǎng)波長(zhǎng)固體激光器。人體對(duì)2940nm的吸收是10 ** 0nm的十倍,所以激光外科和血管外科有很大的應(yīng)用潛力。(2)紅寶石激光器:紅寶石只能在低溫條件下實(shí)現(xiàn)連續(xù)輸出,而且閾值很高,所以至今還沒(méi)有造出在室溫下工作的輸出連續(xù)的紅寶石激光器。適合做單次或低重頻的脈沖激光器。單脈沖能量可達(dá)1~20J,重頻5~10,單脈沖能量可達(dá)1J左右。
(3)銣玻璃激光器:銣玻璃也在室溫下難以運(yùn)轉(zhuǎn)。適合做單次或低重頻的脈沖激光器。重頻限制在5次/s,單次脈沖能量可達(dá)10~80J。
2、氣體激光器
特點(diǎn):氣體激光器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低;操作方便;工作介質(zhì)均勻,光束質(zhì)量好;以及能長(zhǎng)時(shí)間較穩(wěn)定地連續(xù)工作的有點(diǎn)。這也是目前品種最多、應(yīng)用廣泛的一類(lèi)激光器,占有市場(chǎng)達(dá)60%左右。其中,氦-氖激光器是最常用的一種。工作介質(zhì):氣體激勵(lì)方式:氣體放電激勵(lì),還可以采用電子束激勵(lì)、熱激勵(lì)、化學(xué)反應(yīng)激勵(lì)原理:放電管加上幾千伏高壓后,陰極上射出大量自由電子,與基態(tài)He原子碰撞,使之躍遷至激發(fā)態(tài)21S和23S,處于激發(fā)態(tài)的氦原子又與基態(tài)氖原子碰撞,使它們躍遷到激發(fā)態(tài)3S和2S,于是在3S一2P, 3S- ** 和2S- 2P三對(duì)能級(jí)之間,形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn),分別發(fā)射出三種波長(zhǎng)的激光,采取抑制其中兩種波長(zhǎng)的辦法得到一種波長(zhǎng)輸出。波長(zhǎng)范圍:真空紫外-遠(yuǎn)紅外波段根據(jù)能級(jí)躍遷類(lèi)型,可以分為原子、分子、離子、準(zhǔn)分子激光器(1)原子氣體激光器工作物質(zhì):中性氣體原子典型代表:He-Ne激光器:典型的惰性氣體原子激光器,輸出連續(xù)光,譜線(xiàn)有632.8nm(最常用),1015nm,3390nm,近來(lái)又向短波延伸。這種激光器輸出地功率**能達(dá)到1W,但光束質(zhì)量很好,主要用于精密測(cè)量,檢測(cè),準(zhǔn)直,導(dǎo)向,水中照明,信息處理,醫(yī)療及光學(xué)研究等方面。發(fā)光波長(zhǎng):0.6328μm紅光,3.39μm,1.15μm紅外光輸出功率:較小(幾mW到100mW)能量轉(zhuǎn)換效率:0.01%應(yīng)用:精密計(jì)量、準(zhǔn)直、測(cè)距、通訊、跟蹤及全息照相
(2)離子氣體激光器
工作物質(zhì):離子氣體輸出波長(zhǎng):大多在紫外和可見(jiàn)光區(qū)域,輸出功率比原子氣體激光器高代表:Ar+激光器Ar離子激光器:典型的惰性氣體離子激光器,是利用氣體放電試管內(nèi)氬原子電離并激發(fā),在離子激發(fā)態(tài)能級(jí)間實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)而產(chǎn)生激光。它發(fā)射的激光譜線(xiàn)在可見(jiàn)光和紫外區(qū)域,在可見(jiàn)光區(qū)它是輸出連續(xù)功率**的器件,商品化的**也達(dá)30-50W。它的能量轉(zhuǎn)換率**可達(dá)0.6%,頻率穩(wěn)定度在3E-11,壽命超過(guò)1000h,光譜在藍(lán)綠波段(488/514.5),功率大,主要用于拉曼光譜、泵浦染料激光、全息、非線(xiàn)性光學(xué)等研究領(lǐng)域以及醫(yī)療診斷、打印分色、計(jì)量測(cè)定材料加工及信息處理等方面。輸出波長(zhǎng):最強(qiáng)的是0.488μm的藍(lán)光和0.5145μm的綠光輸出功率:達(dá)500MW/cm2,**可達(dá)150W,可見(jiàn)光譜中連續(xù)輸出功率**的氣體激光能量轉(zhuǎn)換效率:幾千分之一用途:彩色電視、全息照相、信息存儲(chǔ)、快速排字、理論研究、醫(yī)學(xué)、染料激光器泵浦源(3)分子氣體激光器工作介質(zhì):中性氣體分子的激光器代表:二氧化碳激光器:波長(zhǎng)為9~12um(典型波長(zhǎng)10.6um)的CO2激光器因其效率高,光束質(zhì)量好,功率范圍大(幾瓦之幾萬(wàn)瓦),既能連續(xù)又能脈沖等多優(yōu)點(diǎn)成為氣體激光器中最重要的,用途最廣泛的一種激光器。主要用于材料加工,科學(xué)研究,檢測(cè)國(guó)防等方面。常用形式有:封離型縱向電激勵(lì)二氧化碳激光器、TEA二氧化碳激光器、軸快流高功率二氧化碳激光器、橫流高功率二氧化碳激光器。N2分子激光器:氣體激光器,輸出紫外光,峰值功率可達(dá)數(shù)十兆瓦,脈寬小于10ns,重復(fù)頻率為數(shù)十至數(shù)千赫,作可調(diào)諧燃料激光器的泵浦源,也可用于熒光分析,檢測(cè)污染等方面。輸出波長(zhǎng):10.6μm紅外效率:30%輸出功率:近似與管子長(zhǎng)度成正比,很容易從1米長(zhǎng)激光器中獲取100W連續(xù)功率輸出脈沖激光器輸出功率可達(dá)千兆瓦量級(jí)
(4)準(zhǔn)分子激光器
工作介質(zhì):稀有氣體或稀有氣體與鹵素氣體的混合氣體輸出波長(zhǎng):處于紫外波段的高效脈沖激光器,通常作為分光、激光加工、光刻的光源一般稀有氣體非常穩(wěn)定,很難與其他原子結(jié)合形成分子一旦被激發(fā)易與其他原子結(jié)合形成分子——準(zhǔn)分子準(zhǔn)分子:激發(fā)態(tài)很穩(wěn)定,基態(tài)不穩(wěn)定立即分解,因而可獲得理想的翻轉(zhuǎn)分布稀有氣體與鹵素氣體的不同組合所得激光波長(zhǎng)不同以準(zhǔn)分子為工作物質(zhì)的一類(lèi)氣體激光器件。常用電子束(能量大于200千電子伏特)或橫向快速脈沖放電來(lái)實(shí)現(xiàn)激勵(lì)。當(dāng)受激態(tài)準(zhǔn)分子的不穩(wěn)定分子鍵斷裂而離解成基態(tài)原子時(shí),受激態(tài)的能量以激光輻射的形式放出。準(zhǔn)分子激光物質(zhì)具有低能態(tài)的排斥性,可以把它有效地抽空,故無(wú)低態(tài)吸收與能量虧損,粒子數(shù)反轉(zhuǎn)很容易,增益大,轉(zhuǎn)換效率高,重復(fù)率高,輻射波長(zhǎng)短,主要在紫外和真空紫外(少數(shù)延伸至可見(jiàn)光)區(qū)域振蕩,調(diào)諧范圍較寬。它在分離同位素,紫外光化學(xué),激光光譜學(xué),快速攝影,高分辨率全息術(shù),激光武器,物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究,光通信,遙感,集成光學(xué),非線(xiàn)性光學(xué),農(nóng)業(yè),醫(yī)學(xué),生物學(xué)以及泵浦可調(diào)諧染料激光器等方面已獲得比較廣泛的應(yīng)用,而且可望發(fā)展成為用于核聚變的激光器件。3、半導(dǎo)體激光器
工作介質(zhì):以半導(dǎo)體材料(主要是化合物半導(dǎo)體)作為工作介質(zhì)。
工作原理是,通過(guò)一定的激勵(lì)方式,在半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶(導(dǎo)帶與價(jià)帶)之間,或者半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶與雜質(zhì)(受主或施主)能級(jí)之間,實(shí)現(xiàn)非平衡載流子的粒子數(shù)反轉(zhuǎn),當(dāng)處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)的大量電子與空穴復(fù)合時(shí),便產(chǎn)生受激發(fā)射作用。發(fā)光波長(zhǎng)隨禁帶寬度而改變。
波長(zhǎng)范圍:近紅外波段
泵浦:電流注入
又可分為同質(zhì)結(jié)半導(dǎo)體,異質(zhì)結(jié)半導(dǎo)體、量子阱半導(dǎo)體激光器
激勵(lì)方式主要有三種:即電注入式,光泵式和高能電子束激勵(lì)式。電注入式半導(dǎo)體激光器一般是由GaAS(砷化鎵),InAS(砷化銦),In ** (銻化銦)等材料制成的半導(dǎo)體面結(jié)型二極管,沿正向偏壓注入電流進(jìn)行激勵(lì),在結(jié)平面區(qū)域產(chǎn)生受激發(fā)射;光泵式半導(dǎo)體激光器,一般用N型或P型半導(dǎo)體單晶(如GaAS,InAs,InSb等)做工作物質(zhì),以其他激光器發(fā)出的激光作光泵激勵(lì)。目前最最常用的是具有雙異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電注入式GaAs二極管激光器,常見(jiàn)為635紅光;氮化銦鎵 (InGaN) 二極管激光器,常見(jiàn)為532綠光和405藍(lán)光。二極管激光器發(fā)射的激光可以用高斯光束來(lái)進(jìn)行描述,其特點(diǎn)是一個(gè)長(zhǎng)條形的發(fā)射體,且在水平和垂直方向的發(fā)射角不同。通常在水平只有幾度,而垂直可達(dá)40度。在大多光耦合技術(shù)中,水平角忽略不計(jì),將垂直的角作為而激光激光器的發(fā)散角。
主要應(yīng)用于電子信息。光纖通信、光傳感、光盤(pán)、激光打印、條形掃碼、集成光學(xué)領(lǐng)域。
400~780nm應(yīng)用用于條形掃描、檢測(cè)、光存儲(chǔ)、激光打印等。
790~1020nm的應(yīng)用于條形掃碼、激光打印、光存儲(chǔ)等領(lǐng)域。近年來(lái)大功率半導(dǎo)體激光器已經(jīng)有長(zhǎng)足的進(jìn)步,連續(xù)輸出功率可達(dá)1~20w。
1300 與1550 分別在硅光纖零色散和**損耗窗口,相應(yīng)的半導(dǎo)體主要用于長(zhǎng)距離大容量干線(xiàn)光通信。
介于1300與1550之間的1480近年來(lái)輸出功率可達(dá)50~100mw。
目前較成熟的是砷化鎵激光器,發(fā)射840nm的激光。另有摻鋁的砷化鎵、硫化鉻硫化鋅等激光器。激勵(lì)方式有光泵浦、電激勵(lì)等。這種激光器體積小、質(zhì)量輕、壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單而堅(jiān)固,特別適于在飛機(jī)、車(chē)輛、宇宙飛船上用。在70年代末期,由于光纖通訊和光盤(pán)技術(shù)的發(fā)展大大推動(dòng)了半導(dǎo)體激光器的發(fā)展。
4、液體激光器 其突出的優(yōu)點(diǎn)是輸出波長(zhǎng)可調(diào)諧,它不僅可以獲得從0.3~1.3um光譜內(nèi)的可調(diào)諧的窄帶高功率激光,而且還可以通過(guò)混頻技術(shù)獲得從紫外到中紅外的可調(diào)諧相干光,因此目前主要用于光譜學(xué)研究。工作介質(zhì):液體可分為無(wú)機(jī)液體和有機(jī)液體激光器,波長(zhǎng)范圍:紫外-近紅外波段泵浦:波長(zhǎng)少短于激光器輸出波長(zhǎng)的光泵泵浦方式:橫向泵浦,泵浦光束與染料激光束垂直縱向泵浦:泵浦光束與染料光束同軸傾斜入射式泵浦:泵浦光束與染料激光束成一銳角代表:若丹明6G染料激光器
常用的是染料激光器,采用有機(jī)染料最為工作介質(zhì)。大多數(shù)情況是把有機(jī)染料溶于溶劑中(乙醇、丙酮、水等)中使用,也有以蒸氣狀態(tài)工作的。利用不同染料可獲得不同波長(zhǎng)激光(在可見(jiàn)光范圍)。染料激光器一般使用激光作泵浦源,例如常用的有氬離子激光器等。液體激光器工作原理比較復(fù)雜。輸出波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào),且覆蓋面寬是它的優(yōu)點(diǎn),使它也得到廣泛應(yīng)用。
5.自由電子激光器
輸出的激光波長(zhǎng)與電子的能量有關(guān):故改變電子束的加速電壓就可以改變激光波長(zhǎng),這叫做電壓調(diào)諧,其調(diào)諧范圍很寬,原則上可以在任意波長(zhǎng)上運(yùn)轉(zhuǎn)。在現(xiàn)有的電子槍和加速器的實(shí)驗(yàn)條件下,可以獲得從毫米波到光頻波段范圍內(nèi)的連續(xù)調(diào)諧的相干輻射。自由電子激光器的輸出功率與電子束的能量、電流密度以及磁感應(yīng)強(qiáng)度有關(guān),它可望成為一種高平均功率、高效率(理論極限達(dá)40%)、高分辨率的具有穩(wěn)定功率和頻率輸出的激光器件,采用它能夠避免某些工藝上的麻煩(如激光工作物質(zhì)稀缺、有毒或腐蝕金屬、玻璃),另外,它基本上不存在使用壽命問(wèn)題。自由電子激光器在短波長(zhǎng)、大功率、高效率和波長(zhǎng)可調(diào)節(jié)這四大主攻方向上,為激光學(xué)科的研究開(kāi)辟了一條新途徑,它可望用于對(duì)凝聚態(tài)物理學(xué)、材料特征、激光武器、激光反導(dǎo)彈、雷達(dá)、激光聚變、等離子體診斷、表面特性、非線(xiàn)性以及瞬態(tài)現(xiàn)象的研究,在通訊、激光推進(jìn)器、光譜學(xué)、激光分子化學(xué)、光化學(xué)、同位素分離、遙感等領(lǐng)域,它應(yīng)用的前景也很可觀。美國(guó)機(jī)載激光武器系統(tǒng)機(jī)載激光武器系統(tǒng)所使用的就是高能化學(xué)碘氧自由電子激光器(COIL)。
6.光纖激光器
工作物質(zhì):以摻入某些激活離子的光纖,或者利用光纖自身的非線(xiàn)性光學(xué)效應(yīng)制成的激光器分類(lèi):晶體光纖激光器,稀土類(lèi)摻雜光纖激光器,塑料光纖激光器和非線(xiàn)性光學(xué)效應(yīng)光學(xué)激光器特點(diǎn):具有總增益高、閾值低、能量轉(zhuǎn)換效率高、很寬的波長(zhǎng)調(diào)諧范圍及器件結(jié)構(gòu)緊湊等突出特點(diǎn)光纖激光器應(yīng)用范圍非常廣泛,包括激光光纖通訊、激光空間遠(yuǎn)距通訊、工業(yè)造船、汽車(chē)制造、激光雕刻激光打標(biāo)激光切割、印刷制輥、金屬非金屬鉆孔/切割/焊接、軍事國(guó)防安全、醫(yī)療器械儀器設(shè)備、大型基礎(chǔ)建設(shè)等等。玻璃光纖制造成本低、技術(shù)成熟及其光纖的可饒性所帶來(lái)的小型化、集約化優(yōu)勢(shì);玻璃光纖對(duì)入射泵浦光不需要像晶體那樣的嚴(yán)格的相位匹配,這是由于玻璃基質(zhì)Stark 分裂引起的非均勻展寬造成吸收帶較寬的緣故;玻璃材料具有極低的體積面積比,散熱快、損耗低,所以上轉(zhuǎn)換效率較高,激光閾值低;輸出激光波長(zhǎng)多:這是因?yàn)橄⊥岭x子能級(jí)非常豐富及其稀土離子種類(lèi)之多;可調(diào)諧性:由于稀土離子能級(jí)寬和玻璃光纖的熒光譜較寬。由于光纖激光器的諧振腔內(nèi)無(wú)光學(xué)鏡片,具有免調(diào)節(jié)、免維護(hù)、高穩(wěn)定性的優(yōu)點(diǎn),這是傳統(tǒng)激光器無(wú)法比擬的。光纖導(dǎo)出,使得激光器能輕易勝任各種三維任意空間加工應(yīng)用,使機(jī)械系統(tǒng)的設(shè)計(jì)變得非常簡(jiǎn)單。勝任惡劣的工作環(huán)境,對(duì)灰塵、震蕩、沖擊、濕度、溫度具有很高的容忍度。不需熱電制冷和水冷,只需簡(jiǎn)單的風(fēng)冷。高的電光效率:綜合電光效率高達(dá)20%以上,大幅度節(jié)約工作時(shí)的耗電,節(jié)約運(yùn)行成本。高功率,目前商用化的光纖激光器可達(dá)六千瓦。7.二極管泵浦固體激光器二極管激光器和二極管泵浦的固體激光器現(xiàn)已成為固體激光器發(fā)展的主流,合并轉(zhuǎn)換效率高,穩(wěn)定性好,可靠性高,是至今**不需維護(hù)的激光系統(tǒng),輸出質(zhì)量高,體積小,結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn)。二極管泵浦固體激光器的關(guān)鍵技術(shù):光耦合技術(shù),泵浦技術(shù),冷卻技術(shù)與電源技術(shù)。這種激光器輸出功率可以大范圍變化,即從幾十瓦到幾千瓦,市場(chǎng)上商用**的可達(dá)6000w.
(1)單色性
(2)方向性
(3)相干性
(4)高亮度
激光模式分為縱膜和橫膜:
縱膜決定激光波長(zhǎng)和頻率,波長(zhǎng)對(duì)加工有很強(qiáng)影響,材料反射系數(shù)和吸收能量份額均取決于激光波長(zhǎng)。
橫膜:決定激光光波場(chǎng)在空間的展開(kāi)程度,高階膜展開(kāi)比較寬,較為均勻,低階能量化比較集中。
工作表面某點(diǎn)吸收能量的多少由激光輸出功率和激光輻射時(shí)間共同決定。
偏振特性影響材料的吸收特性,進(jìn)而影響激光加工時(shí)材料吸收能量的份額。
入射角小的情況下,材料表面對(duì)激光的反射特性和吸收特性受激光偏振特性影響較小。
五、光學(xué)基礎(chǔ)
(1)早期
在公元前5世紀(jì),古希臘人提出“觸覺(jué)論”和“發(fā)射論”,觸覺(jué)論認(rèn)為眼睛可“觸摸”問(wèn)題的亮、暗、顏色等特質(zhì),像身體其他感官部位一樣;發(fā)射論認(rèn)為可見(jiàn)物體可發(fā)射光,視覺(jué)由光 ** 產(chǎn)生公元10世紀(jì),發(fā)射論替代了觸覺(jué)論(2)幾何光學(xué)規(guī)律發(fā)展:公元前3世紀(jì),歐幾里得(Eudid)發(fā)現(xiàn)光的直線(xiàn)傳播、鏡面反射定律一直到公元17世紀(jì),眼鏡、透鏡、成像暗箱等光學(xué)器件出現(xiàn)17世紀(jì),格里馬迪注意到衍射現(xiàn)象胡克發(fā)現(xiàn)了干涉現(xiàn)象牛頓發(fā)現(xiàn)了牛頓環(huán)惠更斯發(fā)現(xiàn)了光的偏振性質(zhì)關(guān)于光速:伽利略做了一個(gè)實(shí)驗(yàn),即讓兩個(gè)人站在山峰上,**個(gè)人打開(kāi)光,當(dāng)?shù)诙€(gè)人看到光后立馬打開(kāi)他那邊的光,**個(gè)人從打開(kāi)光的時(shí)刻計(jì)時(shí)開(kāi)始,到看到對(duì)面的光時(shí)計(jì)時(shí)結(jié)束。但由于人反應(yīng)大于光速,故實(shí)驗(yàn)失敗而告終羅麥通過(guò)天文觀察測(cè)得了光速
(3)光的微粒說(shuō)和波動(dòng)說(shuō):
笛卡爾(牛頓)——微粒說(shuō)(解釋直線(xiàn)傳播、反射;無(wú)法解釋干涉、衍射、偏振等現(xiàn)象)惠更斯——波動(dòng)說(shuō)(光憑借以太波動(dòng)傳播)——楊氏干涉實(shí)驗(yàn),提出干涉原理惠更斯菲涅爾原理、麥克斯韋認(rèn)定光是一種電磁波
(4)波粒二象性:
洛倫茲——洛倫茲坐標(biāo)變換愛(ài)因斯坦——質(zhì)能公式德布羅意——物質(zhì)波薛定諤——物質(zhì)波的波動(dòng)方程狄拉克——引入了光子海森堡——不確定關(guān)系(5)現(xiàn)階段:在研究光與物質(zhì)微粒相互作用的過(guò)程時(shí)采用粒子模型;在研究光的傳播過(guò)程時(shí)采用波動(dòng)模型。
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